美国进口的分子束外延（MBE）设备，用于外延生长高质量的单晶薄膜

氧化物薄膜沉积系统——脉冲激光沉积（PLD）设备

半导体参数测试系统——KEITHLEY 4200

霍尔测试系统

半导体杂质缺陷性质及光谱研究的有力手段---低温稳态/瞬态荧光光谱仪(Photoluminescence)