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金属有机化学气相沉积(MOCVD)课前预习-MOCVD设备在LED产业链中概况与发展现状

2023-05-23

 

LED 产业链由衬底加工、LED 外延片生产、芯片制造和器件封装组成。该产业链中主要涉及的设备包括:衬底加工需要的单晶炉、多线切割机;制造外延片需要的MOCVD 设备;制造芯片需要的光刻、刻蚀、清洗、检测设备;封装需要的贴片机、固晶机、焊线台和灌胶机等。LED 外延片的制备是LED 芯片生产的重要步骤,与集成电路在多种核心设备间循环的制造工艺不同,主要通过MOCVD 单种设备实现。因此,MOCVD 设备是LED 芯片生产和功率器件制造过程中的关键设备。

 

MOCVD 设备采购金额一般占LED生产线总投入的一半以上,是LED 外延片制造中最重要的设备。据统计,截至2017630日,MOCVD设备是聚灿光电LED产线设备投资额占比最大的设备,比例为63.8%,投资额占比第二的为分选机,其所占比例为4.7%

 

MOCVDLED生产设备中成本占比情况

 

MOCVD 设备采购金额一般占LED生产线总投入的一半以上,是LED 外延片制造中最重要的设备。据统计,截至2017630日,MOCVD设备是聚灿光电LED产线设备投资额占比最大的设备,比例为63.8%,投资额占比第二的为分选机,其所占比例为4.7%

 

MOCVD行业发展现状

薄膜沉积是指半导体制造中任何在硅片衬底上沉积一层膜的工艺,这层膜可以是导体、绝缘物质或者半导体材料。在半导体行业下游需求增长以及技术变革的推动下,全球薄膜沉积设备行业持续稳定发展。据统计,2020年全球薄膜沉积设备市场规模为172亿美元,同比上涨10.97%

 

2017-2025年全球薄膜沉积设备市场规模及增速图表:

 

从薄膜沉积设备市场结构比例来,据统计,2020年全球MOCVD设备约占4%的市场份额,约为8.40亿美元,主要应用于LED、功率器件等外延片的生产环节。

2020年全球薄膜沉积设备市场结构情况图表:

我国已成为全球MOCVD设备最大需求市场,设备保有量不断增长。据统计,中国MOCVD 设备保有量占全球比例已超40%2015 年至2017 年中国MOCVD 设备保有量从1222台增长至1718 台,年均复合增长率达18%

 

2013-2017年中国MOCVD设备保有量及增速图表: